1、用于较高的 行星减速机(分为齿轮减速器、蜗杆减速器等)不能直排大气，如直排大气会构成行星减速机吸气口与排气口压差太大，从而使行星减速机过载，为确保能抵达较高真空有必要确保行星减速机转子(rotor)之间的 空地。齿轮减速机正齿轮减速器则用于较低的电流消耗，低噪音和高效率低成本应用。
2、行星减速机运用时设有前级泵，用前级泵将系统内压力吸至一定范围内时再运转行星减速机，如此可以避免行星减速机出现过载现象，前级泵可以选用水环式真空泵、旋片式真空泵、滑阀式真空泵、往复式真空泵等可直排大气的 真空泵。
3、由于行星减速机(分为齿轮减速器、蜗杆减速器等)的 转子不断翻转，被吸气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的 空间内，再经排气口排出，由于吸气后空间是全关闭情况，所以，在泵腔内气体没有紧缩和胀大，但当转子顶部转过排气口边沿，空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间中去，使气体压强突然增高。行星减速机在相同功率下，渗碳淬火齿轮的重量将是调质齿轮重量的1/3左右。所以针对行星齿轮减速机的结构特点和齿轮的载荷性质，应该广泛采用硬齿面齿轮。当转子继续转变时，气体排出泵外。
蜗轮蜗杆行星减速机(分为齿轮减速器、蜗杆减速器等)的 主要特点是具有反向自锁(self locking)功能，可以有较大的 减速比，输入轴和输出轴不在同一轴线上，也不在同一平面上。口罩机减速机一般用于在有限的空间里需要较高的转矩时，即小体积大转矩，而且它的可靠性和寿命都比正齿轮减速器要好。但是一般体积较大，传动效率不高，精度（精确度）不高。谐波行星减速机的 谐波传动是利用柔性(Flexible)元件可控的 弹性变形来传递（transmission)运动和动力的 ，体积不大、精度很高，但缺点是柔轮寿命有限、不耐冲击，刚性与金属件相比较差。输入转速不能太高。行星行星减速机其优点是结构比较紧凑，回程间隙小、精度较高，使用周期很长，额定输出扭矩可以做的 很大。但价格略贵。齿轮行星减速机具有体积小，传递扭矩大的 特点。齿轮行星减速机在模块组合体系基础上设计制造，有极多的 电机组合、安装形式和结构方案，传动比分级细密，满足不同的 使用工况，实现机电一体化。齿轮行星减速机传动效率高，耗能低，性能优越。摆线针轮行星减速机是一种采用摆线针齿啮合行星传动原理的 传动机型，是一种理想的 传动装置，具有许多优点，用途广泛(extensive)，并可正反运转。
